由于芯片短缺問題和近2年海運擁堵和成本上升等因素,致使全球資本對于芯片制造工廠的投入增大,而中興、華為的例子已經(jīng)凸顯出國產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的重要性,除去地緣政治上的意義,發(fā)展半導(dǎo)體其實是中國經(jīng)濟(jì)的轉(zhuǎn)型的必走之路。
半導(dǎo)體生產(chǎn)是一種高度復(fù)雜的工藝,涉及數(shù)百個工序。由于尺寸特殊且非常精密,幾乎無法手動生產(chǎn)集成電路。此外,生產(chǎn)對純度、潔凈度和功能性提出了嚴(yán)格要求。因此,半導(dǎo)體工廠需要高度自動化、智能互聯(lián)、模塊化且靈活的生產(chǎn)理念,物聯(lián)網(wǎng)RFID技術(shù)推動半導(dǎo)體行業(yè)的自動化發(fā)展,提高芯片企業(yè)產(chǎn)能!
方案一:RFID在半導(dǎo)體行業(yè)天車設(shè)備的應(yīng)用
由于12寸晶圓盒非人力能所搬動,需要用到天車設(shè)備進(jìn)行搬運,將分體式低頻讀寫器JY-V640安裝在天車設(shè)備,識別FOUP的TI標(biāo)簽部署在行車節(jié)點,當(dāng)天車設(shè)備經(jīng)過是,讀寫器自動感應(yīng)TI標(biāo)簽,上傳至后臺管理系統(tǒng),系統(tǒng)根據(jù)指令快速調(diào)度天車設(shè)備的下一步工序路徑,實現(xiàn)井然有序的工作。
方案二:RFID半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)線的應(yīng)用
將RFID讀寫器部署在機械手臂,晶圓盒部署RFID載碼體,當(dāng)機械手臂開始工作時,讀寫器自動采集載碼體信息,及時了解是什么產(chǎn)品、如何加工、何時加工,并跟蹤晶圓在加工流程中的具體位置,可顯著減少晶圓的供應(yīng)時間,并充分減少該工序的工作量,倉儲管理系統(tǒng)將RFID的信息與生產(chǎn)控制系統(tǒng) (MES) 的信息關(guān)聯(lián)在一起,可實時監(jiān)測所有晶圓。
方案三:RFID在半導(dǎo)體晶元儲存柜的應(yīng)用
將RFID讀取器部署在儲存柜承載平臺支撐板下方,將RFID載碼體安裝至晶圓盒,當(dāng)晶圓進(jìn)入儲存柜時,RFID讀取器識別RFID載碼體來監(jiān)測拾放物料期間晶圓的儲存位置。因此,必要時可立即找到所有儲存的晶圓。
方案四:RFID在半導(dǎo)體車間AGV搬運機器人的應(yīng)用
在半導(dǎo)體車間實現(xiàn)無人化運輸管理,采用AGV小車進(jìn)行物料運輸,將RFID讀寫器安裝在AGV小車底部,在運輸軌道節(jié)點部署RFID載碼體,當(dāng)AGV小車經(jīng)過軌道節(jié)點時,讀寫器自動采集載碼體信息,實時掌握物料的運輸情況及其往哪個生產(chǎn)工序運輸。
1,避免人為原因?qū)е路胖玫母叨纫约皵?shù)量有限,更加精準(zhǔn)利用空間;
2,避免人工帶來出錯、耗時等問題;
3,可以跟蹤所有的物料流;
4,及時掌握晶圓芯片的存取情況;
5,減少污染,保持晶圓潔凈;
6,提升半導(dǎo)體行業(yè)自動化管理水平。
設(shè)備配置
面向半導(dǎo)體制造業(yè)開發(fā)的半導(dǎo)體RFID讀寫器,采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式,支持SECS協(xié)議和Modbus RTU協(xié)議,符合世界SEMI標(biāo)準(zhǔn),兼容TI公司產(chǎn)的CID載體,具有出色的讀寫可靠性和耐環(huán)境性,支持外部光電開關(guān)的IO信號觸發(fā)讀卡。